NanoSensors

ナノセンサ

クインズゲートNXシリーズナノセンサは、超高分解能および安定性能のある静電容量測微法の原則に基づく、非接触測定システムです。

2つのセンサプレート(ターゲットセンサとプローブセンサ)は、RFで作動するパラレルプレートコンデンサとなります。この2つのプレートの間隔は分解能0.1 nm以下で、測定範囲1250μmまで、帯域幅5kHzまで、直線性0.02%まで測定可能です。当社は、4種類のサイズのセンサ、3種類の形状(円形、正方形、長方形)、3種類の素材(熱安定性の点で最も需要の高いアプリケーションに対応する、アルミニウム、スーパーインバール、ゼロデュア加工のゴールド)、2種類の設定(デュアルプローブとシングルプローブ)に加え、カスタム・デザインも提供しています。

ナノセンサは非接触測定システムであるため、ヒステリシスがなく、測定点で出力が全く消散しません。すべてのクインズゲート・ナノセンサについている保護リングは、活性領域で最も均一な場となるよう設計され、高い直線性が保証されています。

ナノセンサの構造は極めてシンプルで、長期測定に最適です。すべてのクインズゲート・ナノセンサは、個別に提供することも(制御にはベンチトップ・ドライバとOEMモジュールの両方の使用が可能)、または当社のピエゾコントローラと調整したうえでMTPグループのクインズゲート・開ループアクチュエータ(移動距離最大105μm)と併用することも可能です 。

センサと電子コントローラは頑丈で安定性が高く、長期にわたり優れたドリフト性能を提供します。

  • NanoSensors - NXA Series

  • The NanoSensor is a non-contact position measuring system based on the principle of capacitance micrometry. Two sensor plates (a Target and a Probe) form a parallel plate capacitor. The NXA series sensors have an active area of 12 sq. mm and is available in round shape.
  • NanoSensors - NXB Series

  • The NanoSensor is a non-contact position measuring system based on the principle of capacitance micrometry. Two sensor plates (a Target and a Probe) form a parallel plate capacitor. The NXB series sensors have an active area of 22.5 sq. mm and are available in round, square and rectangular shapes. They can be operated in two ranges: up to 20μm or up to 100μm.
  • NanoSensors - NXC Series

  • The NanoSensor is a non-contact position measuring system based on the principle of capacitance micrometry. Two sensor plates (a Target and a Probe) form a parallel plate capacitor. The NXB series sensors have an active area of 113 sq. mm and are available in round, square and rectangular shapes. They can be operated in two ranges: up to 100μm or up to 500μm.
  • NanoSensors - NXD Series

  • The NanoSensor is a non-contact position measuring system based on the principle of capacitance micrometry. Two sensor plates (a Target and a Probe) form a parallel plate capacitor. The NXB series sensors have an active area of 282 sq. mm and are available in round, square and rectangular shapes. They can be operated in two ranges: up to 250μm or up to 1250μm.
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